[发明专利]一种增强透射的纳米环形近场光学探针及其制备方法有效
| 申请号： | 201810357732.4 | 申请日： | 2018-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN108614130B | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 曾志豪;王海卫;谢长生;李红云;黄涛;邹宇豪;肖瑶 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01Q60/22 | 分类号： | G01Q60/22;G02B6/26;G02B5/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 李智;曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种增强透射的纳米环形近场光学探针及其制备方法，该探针由光纤纤芯、纳米环形结构、金属膜及中心增强透射孔构成，纳米环形结构分布在光纤纤芯平滑端头的二氧化硅与金属膜的界面处，能使激发光转化成等离激元，聚焦到中心增强透射孔中，并且产生纳米尺度及具备高度方向性的增强透射光。同时通过改变和优化环形结构位置与宽度、金属膜材料及厚度，中心增强透射孔尺寸大小等，皆可以实现纳米聚焦的调控和优化。本发明可用作扫描近场光学显微镜、原子力显微镜和针尖增强拉曼光谱仪的探针，光学探针形成的高方向性纳米尺度增强透射近场光可以用作纳米光刻和亚波长光通信的光源，并且在纳米传感、纳米成像等诸多领域具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 增强 透射 纳米 环形 近场 光学 探针 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种增强透射的纳米环形近场光学探针，其特征在于，包括：光纤纤芯、纳米环形结构、金属膜及中心增强透射孔；所述光纤纤芯的锥形针尖的顶端为所述光纤纤芯的端面，在所述光纤纤芯的端面上刻蚀有所述纳米环形结构，在所述纳米环形结构上镀有所述金属膜，所述金属膜延续所述纳米环形结构的环形拓扑结构，所述中心增强透射孔在所述纳米环形结构的中心，且贯穿所述金属膜，在所述纳米环形结构的中心刻蚀有圆柱形凹陷。
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