[发明专利]衬底切割控制与检查

摘要

一种晶圆衬底，所述晶圆衬底通过在两侧上对其进行照射并对已经从所述衬底反射的并且透射穿过所述衬底的光进行成像而被检查。所述衬底被支撑在工作台上，并且第一和第二照射源被设置用于在使用时分别照射由所述工作台支撑的所述衬底的第一表面以及由所述工作台支撑的所述衬底的第二表面。至少一个相机被适配用于当所述衬底被所述第一照射源和/或所述第二照射源照射时对从所述衬底接收到的光进行成像。可以在切割工艺期间进行检查。

主权项

1.一种用于检查衬底的检查系统，其特征在于：所述衬底基本上是平坦的并且具有位于其相对侧上的第一和第二主表面，所述检查系统包括：工作台，所述工作台用于在使用时支撑所述衬底；第一照射源，所述第一照射源被设置用于在使用时照射由所述工作台支撑的所述衬底的所述第一表面；第二照射源，所述第二照射源被设置用于在使用时照射由所述工作台支撑的所述衬底的所述第二表面；以及至少一个相机，所述至少一个相机被适配用于当所述衬底被所述第一照射源和/或所述第二照射源照射时对从所述衬底接收到的光进行成像。