[发明专利]金属化薄膜方阻在线监视装置在审
| 申请号： | 201810347334.4 | 申请日： | 2018-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN108827164A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 钱锦绣 | 申请（专利权）人： | 钱立文 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 244000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明一种金属化薄膜方阻在线监视装置，包括安装在真空蒸镀室内的测控主机(1)、安装在真空蒸镀室外的人机界面(2)、以及用于电连接真空蒸镀室内外的真空电极法兰(3)；所述的测控主机包含机架(11)、固设在机架(11)垂直面的控制器(14)、固设在机架(11)水平面的至少一对光源发射头(12)、光源接收头(13)，所述的人机界面(2)固设在蒸镀室外的控制盒操作面，所述的真空电极法兰(3)固设在蒸镀室侧壁孔(4)上。本发明无需与金属化薄膜上的金属镀层接触，能实时反映镀层的均匀性，有利于提高镀膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 金属化薄膜 真空蒸镀 人机界面 在线监视装置 测控主机 真空电极 法兰 方阻 室外 光源发射头 光源接收头 金属镀层 控制器 操作面 侧壁孔 电连接 均匀性 控制盒 室内外 蒸镀室 镀层 镀膜 蒸镀 垂直 室内 | ||
【主权项】：
1.一种金属化薄膜方阻在线监视装置，其特征在于包括安装在真空蒸镀室内的测控主机(1)、安装在真空蒸镀室外的人机界面(2)、以及用于电连接真空蒸镀室内外的真空电极法兰(3)；所述的测控主机包含机架(11)、固设在机架(11)垂直面的控制器(14)、固设在机架(11)水平面的至少一对光源发射头(12)、光源接收头(13)，所述控制器(14)至少包含一对用于实现光密度测试的光源发射输出端和光源接收输入端、以及用于实现测控主机供电与人机界面通讯的电接口(16)，所述光源发射头(12)、光源接收头(13)分别与控制器的光源发射输出端和光源接收输入端电连接；所述的人机界面(2)固设在蒸镀室外的控制盒操作面，用于显示所有测试点数据的实时监控；所述的真空电极法兰(3)固设在蒸镀室侧壁孔(4)上。
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