[发明专利]一种基于机器视觉的微纳米缺陷检测装置在审
| 申请号： | 201810341863.3 | 申请日： | 2018-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN108760746A | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 许照林 | 申请（专利权）人： | 苏州富鑫林光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于机器视觉的微纳米缺陷检测装置，包括：微纳米光学成像系统，用于微纳米缺陷成像；实时聚焦系统，用于缺陷成像系统的实时聚焦；自适应复杂背景图像处理系统，用于图像处理和缺陷标定；高精度抗干扰机构平台，用于系统机构支撑和功能实现。本发明的基于机器视觉的微纳米缺陷检测装置，采用微纳米检测技术，实现微纳米级检测技术及其相应系统，可大幅度提高产品制造过程中精度和制程良率。微纳米视觉检测设备的研制，可填补国内纳米级检测设备空白。 | ||
| 搜索关键词： | 微纳米 缺陷检测装置 基于机器 缺陷成像 视觉 纳米级检测设备 产品制造过程 复杂背景图像 光学成像系统 视觉检测设备 微纳米检测 处理系统 功能实现 机构平台 检测技术 聚焦系统 缺陷标定 图像处理 微纳米级 系统机构 抗干扰 自适应 良率 制程 聚焦 填补 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种基于机器视觉的微纳米缺陷检测装置，其特征在于，包括：微纳米光学成像系统，用于微纳米缺陷成像；实时聚焦系统，用于缺陷成像系统的实时聚焦；自适应复杂背景图像处理系统，用于图像处理和缺陷标定；高精度抗干扰机构平台，用于系统机构支撑和功能实现。
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