[发明专利]一种高动态范围精密散射特性测量系统

摘要

本发明提供一种高动态范围精密散射特性测量系统，精确获取被测样品表面散射特性的分布和大小。该检测系统主要包括光源模块、信号调制模块、能量衰减模块、准直扩束模块、偏振模块、会聚镜组、针孔、聚焦镜组、待测样品、可变光阑、耦合镜组、视场光阑、光电探测器、消光陷阱、数据处理系统、信号解调模块、消光暗室、光源角度扫描机构、样品调整机构和探测器角度扫描机构。该散射特性测量系统具有高动态范围、高精度、波长范围宽、可进行偏振调制等优点。

主权项

1.一种高动态范围精密散射特性测量系统，其特征在于：包括光源模块、信号调制模块、能量衰减模块、准直扩束模块、偏振模块、会聚镜组、针孔、聚焦镜组、待测样品、可变光阑、耦合镜组、视场光阑、光电探测器、消光陷阱、数据处理系统、信号解调模块、消光暗室、光源角度扫描机构、样品调整机构和探测器角度扫描机构；光源模块发出的光波经信号调制模块和信号解调模块进行信号处理，经过能量衰减模块保证系统具有高动态范围，再经准直扩束模块使光束变为准直光束，偏振模块对准直光束进行偏振态变换操作，以提供不同偏振模式照明，满足不同应用需求；会聚镜组将经偏振模块调制的光束会聚为细光束，再经针孔滤波，通过聚焦镜组将经过针孔滤波的光束变换为会聚光束，照射到待测样品表面，聚焦镜组焦面落在可变光阑孔径平面上，经待测样品散射到半球空间的光束通过可变光阑控制入射到耦合镜组表面光斑的大小，耦合镜组将待测样品散射到半球空间的部分光束能量收集于光电探测器，视场光阑调节光电探测器光敏面的视场大小，消光陷阱用于收集因待测样品表面产生的镜面反射光束，经过待测样品表面调制进入光电探测器的光能量包含了待测样品表面的散射特性信息，经数据处理系统获得待测样品散射特性的分布和大小；除信号解调模块和数据处理系统外，整个系统置于消光暗室中；光源角度扫描机构采用电动调节方式控制入射到待测样品表面的入射角度，样品调整机构可手动调节或者电动调节，对待测样品在六个维度方向进行调节对准，探测器角度扫描机构在半球空间按预设的轨迹收集待测样品散射到半球空间的能量。