[发明专利]用于致动光学系统中的至少一个光学元件的装置有效
| 申请号： | 201810319528.3 | 申请日： | 2013-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN108519672B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | M.豪夫;A.沃格勒 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G03F7/20;G02B7/182;G02B7/198 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于致动光学系统、尤其是投射曝光设备的光学系统中的光学元件的装置，其中，所述光学元件(101)通过具有接合件刚度的至少一个接合件(102)能够关于至少一个倾斜轴线倾斜，所述装置包含用于对所述光学元件(101)施加力的至少一个致动器(104)，其中，所述致动器(104)具有致动器刚度，其至少部分地补偿所述接合件刚度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光学系统 中的 至少 一个 光学 元件 装置 | ||
【主权项】：
1.用于致动光学系统中的至少一个光学元件的装置，其中所述光学元件能够通过具有接合件刚度的至少一个接合件关于至少一个倾斜轴线倾斜，●其中所述光学系统具有多个光学元件(801,802,803)，其中所述元件中的每一个在各种情况中分配至少一个致动器，以对所述光学元件(801,802,803)施加力；●其中分配给所述光学元件(801,802,803)的致动器布置在至少两个不同平面(810,820,830)中。
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