[发明专利]一种MEMS电容式加速度计接口电路在审
| 申请号： | 201810296911.1 | 申请日： | 2018-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN110350905A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 齐敏;孙泉;乔东海 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | H03K19/0175 | 分类号： | H03K19/0175 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙) 11309 | 代理人： | 陈霁 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS电容式加速度计接口电路，包括敏感单元和读出装置；读出装置包括：开关、前置放大器和正参考电压以及共模电压产生电路；正参考电压以及共模电压产生电路包括升压电荷泵以及第一低噪声线性稳压器和第二低噪声线性稳压器；其中，第一低噪声线性稳压器和升压电荷泵构成正参考电压产生电路，第二低噪声线性稳压器和升压电荷泵构成共模电压产生电路；其中，正参考电压产生电路用于产生一个相对于低输入电源电压两倍或者更高的高压，并转化为相当于低输入电源电压两倍的正参考电压；共模电压产生电路用于产生一个相对于低输入电源电压两倍或者更高的高压，并转化为相当于低输入电源电压一半的共模电压。 | ||
| 搜索关键词： | 产生电路 正参考电压 共模电压 输入电源电压 线性稳压器 低噪声 升压电荷泵 电容式加速度计 读出装置 接口电路 前置放大器 敏感单元 转化 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS电容式加速度计接口电路，包括敏感单元和读出装置；其特征在于，所述读出装置包括：开关、前置放大器和正参考电压以及共模电压产生电路；所述正参考电压以及共模电压产生电路包括升压电荷泵以及第一低噪声线性稳压器LDO1和第二低噪声线性稳压器LDO2；其中，所述第一低噪声线性稳压器LDO1和升压电荷泵构成正参考电压产生电路，所述第二低噪声线性稳压器LDO2和升压电荷泵构成共模电压产生电路；其中，所述正参考电压产生电路，用于产生一个相对于低输入电源电压两倍或者更高的高压，并将所述相对于低输入电源电压两倍或者更高的高压转化为相当于低输入电源电压两倍的正参考电压；所述共模电压产生电路，用于产生一个相对于低输入电源电压两倍或者更高的高压，并将所述相对于低输入电源电压两倍或者更高的高压转化为相当于低输入电源电压一半的共模电压。
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