[发明专利]用于二氧化碳激光器的工作气体及充气方法和充气装置在审
| 申请号： | 201810290315.2 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN108512019A | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 唐友清 | 申请（专利权）人： | 南京晨锐腾晶激光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/036 | 分类号： | H01S3/036;H01S3/223 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 李德溅 |
| 地址： | 211100 江苏省南京市江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了用于二氧化碳激光器的工作气体及充气方法和充气装置，各气体组分的体积百分比分别为：0.5%～3%的氢气、2.7%～5%的氙气、11%～20.5%的二氧化碳、13%～25%的氮气和60.4%～73.2%的氦气；上述组分的体积百分比之和为100%。该充气方法的步骤为：用真空泵对激光器谐振腔抽真空，使得激光器谐振腔内的真空度应达到10‑6Pa；将各气体组分按照计算好的体积比依次充入激光器谐振腔内，使得激光器谐振腔内的总气压达到8kPa～13kPa。充气装置根据工作气体和充气方法设定。本发明通过抽真空和按序充入新的工作气体，自动实现充气过程，确保工作气体纯度高、配比准确，提高电光转化率。 | ||
| 搜索关键词： | 工作气体 激光器谐振腔 充气 充气装置 二氧化碳激光器 体积百分比 抽真空 氮气 充气过程 自动实现 氢气 体积比 真空泵 总气压 电光 二氧化碳 氦气 配比 氙气 | ||
【主权项】：
1.一种用于二氧化碳激光器的工作气体，其特征在于：所述的工作气体中各气体组分的体积百分比分别为：0.5%～3%的氢气、2.7%～5%的氙气、11%～20.5%的二氧化碳、13%～25%的氮气和60.4%～73.2%的氦气；上述组分的体积百分比之和为100%。
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