[发明专利]真空干燥装置在审
| 申请号： | 201810287892.6 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN108613489A | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 陆明 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B5/04;F26B25/08;C03C17/00 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空干燥装置，包括真空室和设于所述真空室内的基板支撑台，所述基板支撑台包括：承载平台、支撑柱和驱动机构，所述支撑柱可移动地设置于所述承载平台上，所述驱动机构用于控制驱动所述支撑柱移动。本发明公开的一种真空干燥装置，通过驱动机构控制支撑柱移动，从而使得支撑柱准确移动至指定位置，避免支撑柱对基板的显示区造成破坏，同时无需人工调节支撑柱，避免对真空室内部造成污染。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑柱 真空干燥装置 驱动机构 基板支撑台 承载平台 移动 可移动地设置 真空室内部 控制驱动 人工调节 对基板 显示区 真空室 室内 污染 | ||
【主权项】：
1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括真空室和设于所述真空室内的基板支撑台，所述基板支撑台包括：承载平台、支撑柱和驱动机构，所述支撑柱可移动地设置于所述承载平台上，所述驱动机构用于控制驱动所述支撑柱移动。
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