[发明专利]光掩模坯料的制造方法

摘要

本发明提供一种光掩模坯料的制造方法，其能够减少由于清洗工序等而发生的硬掩模膜上的穿透型针孔缺陷的发生风险。本发明是一种光掩模坯料的制造方法，所述方法先在对曝光光线具有透明性的基板上形成图案形成膜，并在图案形成膜上形成膜厚T的硬掩模膜，所述方法的特征在于：在形成硬掩模膜时，利用重复2次以上的薄膜成长工序与通过清洗来去除薄膜上的异物的工序来形成膜厚T的硬掩模膜，所述薄膜具有比前述硬掩模膜的膜厚T更小的膜厚。

主权项

1.一种光掩模坯料的制造方法，所述方法先在对曝光光线具有透明性的基板上形成图案形成膜，并在所述图案形成膜上形成膜厚T的硬掩模膜，所述方法的特征在于：在形成所述硬掩模膜时，利用重复2次以上的薄膜成长工序与通过清洗来去除所述薄膜上的异物的工序来形成所述膜厚T的硬掩模膜，所述薄膜具有比所述硬掩模膜的膜厚T更小的膜厚。