[发明专利]一种具有行波磁场的锑铟镓晶体生长炉在审
| 申请号： | 201810276104.3 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN108193279A | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 张政;党媛媛;孙敏;黄金栋;汪程鹏;刘俊成 | 申请（专利权）人： | 天津工业大学 |
| 主分类号： | C30B30/04 | 分类号： | C30B30/04;C30B29/52;C30B29/48;C30B29/40 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300387 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供一种带有行波磁场的锑铟镓晶体生长炉，包括磁场产生机构、垂直提升机构和炉体支撑机构；所述磁场产生机构由铁芯、三相导电绝缘线和绝缘保护壳组成；所述三相导电绝缘线与电源连接；所述电源产生电流，该电流在水平线圈内产生行波磁场。本发明通过在晶体生长炉内施加一个行波磁场，当行波磁场引起的洛伦兹力方向向下时，坩埚内锑铟镓的熔质在洛伦兹力作用传输下，会加速熔质的对流过程，熔池内的冷热区分布更加均匀。同时，使用方波电流发生器周期性地控制线圈中三相电流的相位移信号，有利于溶质的均匀分布，明显减弱宏观偏析，得到位错更低，晶体质量更好的锑铟镓晶锭。 | ||
| 搜索关键词： | 行波磁场 铟镓 晶体生长炉 磁场产生机构 洛伦兹力 绝缘线 导电 熔质 垂直提升机构 绝缘保护壳 相位移信号 电源产生 电源连接 对流过程 方波电流 宏观偏析 控制线圈 炉体支撑 三相电流 水平线圈 发生器 晶锭 冷热 熔池 溶质 铁芯 位错 坩埚 磁场 施加 传输 | ||
【主权项】：
1.一种带有行波磁场的锑铟镓晶体生长炉，其特征在于：包括磁场产生机构、垂直提升机构和炉体支撑机构。所述磁场产生机构由铁芯、三相导电绝缘线和绝缘保护壳组成，三相导电绝缘线以UVW的形式堆叠缠绕在铁芯上，铁芯外部是一圈绝缘保护壳；所述三相导电绝缘线与三相低频交变电源连接；所述三相低频交变电源产生的电流为励磁电流，该电流在水平线圈内产生行波磁场；所述炉体支撑机构和垂直提升机构通过底盘相互连接。
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