[发明专利]光波导器件及其制备方法在审
| 申请号： | 201810270051.4 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN110320596A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 刘磊;王志仁;周砚扬;周林杰 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/124;G02F1/025 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种光波导器件及其制备方法，该光波导器件包括：衬底，依次设置于衬底上的脊型波导、光栅，其中，脊型波导包括沿第一方向排列的第一平板部、第二平板部，以及设置于第一平板部和第二平板部之间并与第一平板部和第二平板部连接的凸条；凸条在第二方向上高于第一平板部和第二平板部，第二方向垂直于第一方向；光栅设置于凸条背对衬底的一侧，和/或，光栅设置于第一平板部和第二平板部中至少一个平板部上邻接凸条。本发明实施例通过在脊型波导上形成光栅，使得脊型波导呈现光栅波导特性，通过光栅对光载波引起的慢光效应，提高调制效率。 | ||
| 搜索关键词： | 平板部 光栅 脊型波导 凸条 光波导器件 衬底 制备 调制效率 方向垂直 方向排列 光栅波导 慢光效应 依次设置 邻接 背对 | ||
【主权项】：
1.一种光波导器件，其特征在于，所述光波导器件包括：衬底，依次设置于所述衬底上的脊型波导以及光栅，其中，所述脊型波导包括沿第一方向排列的第一平板部、第二平板部，以及设置于所述第一平板部和所述第二平板部之间并与所述第一平板部和所述第二平板部连接的凸条；所述凸条在第二方向上高于所述第一平板部和所述第二平板部；所述第二方向垂直于所述第一方向；所述脊形波导包括：跨所述凸条和所述第一平板部且具有P型导电性的第一掺杂区；以及跨所述凸条和所述第二平板部且具有N型导电性的第二掺杂区；所述第一掺杂区与所述第二掺杂区邻接形成的PN结；所述光栅设置于所述凸条背对所述衬底的一侧。
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