[发明专利]一种用于切割硅晶片的金刚线切割液在审
| 申请号： | 201810249891.2 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN108300557A | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 黄俊祥 | 申请（专利权）人： | 深逸通自动化科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | C10M173/00 | 分类号： | C10M173/00;C10N30/06;C10N30/12;C10N30/08 |
| 代理公司： | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人： | 滑春生 |
| 地址： | 226000 江苏省南通*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于切割硅晶片的金刚线切割液，所述金刚线切割液中各组分所占的重量百分比为：极压剂6‑16%，有机羧酸1‑5%，润滑剂0.5‑2.5%，矿物油4‑6%，乳化剂0.2‑0.6%，消泡剂0.1‑0.5%，丁基卡必醇0.1‑1.5%，余量为去离子水；其中，润滑剂为聚氧乙烯烷基酚醚和磷酸二甲酯的混合物，且聚氧乙烯烷基酚醚和磷酸二甲酯的质量比为1.9‑2.3:1。本发明的优点在于：本发明提供的金刚线切割液，其中每个组分在配方中都有独特的作用，能够使得金刚线切割液具有突出的润滑渗透性和防锈性，磨粒分散均匀；且金刚线切割液的物理和化学性质稳定，高温不易分解；切割液抗腐蚀性能强，不易变质，使用及贮存时间长，价格低廉，有效降低了生产成本，有利于工业化大生产。 | ||
| 搜索关键词： | 线切割液 聚氧乙烯烷基酚醚 磷酸二甲酯 切割硅晶片 润滑剂 物理和化学性质 工业化大生产 丁基卡必醇 抗腐蚀性能 重量百分比 分散均匀 去离子水 有机羧酸 矿物油 混合物 防锈性 极压剂 切割液 乳化剂 渗透性 消泡剂 质量比 磨粒 生产成本 贮存 配方 变质 分解 | ||
【主权项】：
1.一种用于切割硅晶片的金刚线切割液，其特征在于：所述金刚线切割液中各组分所占的重量百分比为：极压剂 6‑16%，有机羧酸1‑5%，润滑剂0.5‑2.5%，矿物油4‑6%，乳化剂0.2‑0.6%，消泡剂0.1‑0.5%，丁基卡必醇0.1‑1.5%，余量为去离子水；其中，润滑剂为聚氧乙烯烷基酚醚和磷酸二甲酯的混合物，且聚氧乙烯烷基酚醚和磷酸二甲酯的质量比为1.9‑2.3:1。
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