[发明专利]观测薄膜窗口在审
| 申请号： | 201810249406.1 | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN108398383A | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 胡慧珊;温赛赛;马硕;王新亮 | 申请（专利权）人： | 苏州原位芯片科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N23/02;H01J37/20 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 215123 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种观测薄膜窗口，包括：衬底，其包括相对设置的第一表面和第二表面；预定厚度的薄膜，其设置在第一表面和第二表面上，薄膜的形状和尺寸与衬底的形状和尺寸一致；衬底上还设置有贯穿第一表面和第二表面的观测凹槽；并且，观测凹槽还贯穿位于第一表面或第二表面上的薄膜；坐标结构，坐标结构设置在薄膜上，且坐标结构与观测凹槽相对应，坐标结构用于对样品进行观测定位。其在薄膜上设置有坐标结构，这样，在对样品进行观测时，坐标结构能有效地进行对样品的观测定位，并且在光学显微镜和透射电镜观测切换的时候，有效记录对应样品的位置。因此，本发明的观测薄膜窗口可以实现快速定位，提高样品观测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 观测 薄膜 坐标结构 第二表面 第一表面 衬底 光学显微镜 尺寸一致 快速定位 透射电镜 相对设置 有效记录 有效地 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种观测薄膜窗口，其特征在于，包括：衬底，其包括相对设置的第一表面和第二表面；预定厚度的薄膜，其设置在所述第一表面和所述第二表面上，所述薄膜的形状和尺寸与所述衬底的形状和尺寸一致；所述衬底上还设置有贯穿所述第一表面和所述第二表面的观测凹槽；并且，所述观测凹槽还贯穿位于所述第一表面或所述第二表面上的所述薄膜；坐标结构，所述坐标结构设置在所述薄膜上，且所述坐标结构与所述观测凹槽相对应，所述坐标结构用于对样品进行观测定位。
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