[发明专利]成膜组件及其承载组件、成膜方法在审
| 申请号： | 201810246661.0 | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN108359933A | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 郭天福;徐湘伦 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 钟子敏 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请公开一种成膜组件及其承载组件、成膜方法。所述成膜组件包括载台以及承载于所述载台上方的掩膜板，所述掩膜板包括本体及贯穿所述本体的通孔，所述载台设置有多个磁性件，每一磁性件与所述载台可移动连接或可拆卸连接，以此根据掩膜板的通孔来调节载台上磁性件的排布方式。基于此，本申请能够有利于改善对掩膜板类型的通用性，降低成膜时的阴影效应。 | ||
| 搜索关键词： | 成膜 掩膜板 磁性件 承载组件 通孔 可拆卸连接 可移动连接 排布方式 阴影效应 组件包括 载台 申请 承载 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种承载组件，其特征在于，所述承载组件包括载台以及排布于所述载台上的多个磁性件，每一所述磁性件与所述载台可移动连接或可拆卸连接，以此通过调节所述载台上磁性件的排布方式来调节所述载台上方的磁场分布。
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