[发明专利]一种氮元素注入方法及其改性刀具、模具在审
| 申请号： | 201810240630.4 | 申请日： | 2018-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN108385074A | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 王世兴;苏红;黄建军 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 林燕云 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮元素注入方法及其改性刀具、模具。该氮元素注入方法包括将金属样品放在试样架上，以及将预设金属靶材安装在金属离子源上；将真空室抽真空至第一预设真空度；预热金属离子源；向真空室通入氮气以调节真空室的真空度至第二预设真空度；设置金属离子注入参数并启动离子注入设备以借助金属离子源产生的金属离子将氮气中的氮元素携带共注入至金属样品。该氮元素注入方法具有注入成本低、操作简单等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 氮元素 预设 氮气 金属离子源 金属离子 金属样品 真空室 改性 刀具 模具 离子注入设备 真空室抽真空 金属靶材 预热金属 离子源 试样架 携带 | ||
【主权项】：
1.一种氮元素注入方法，应用于离子注入设备，所述离子注入设备包括金属离子源、真空室和位于所述真空室内的试样架，其特征在于，包括：将金属样品放在所述试样架上，以及将预设金属靶材安装在所述金属离子源上；将所述真空室抽真空至第一预设真空度；预热所述金属离子源；向所述真空室通入氮气以调节所述真空室的真空度至第二预设真空度；设置金属离子注入参数并启动所述离子注入设备以借助所述金属离子源产生的金属离子将所述氮气中的氮元素携带共注入至所述金属样品。
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