[发明专利]一种调制薄膜激光感生电压的方法有效
| 申请号： | 201810237816.4 | 申请日： | 2018-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN108534945B | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 虞澜;刘安安;宋世金;胡建力;崔凯 | 申请（专利权）人： | 昆明理工大学 |
| 主分类号： | G01L11/02 | 分类号： | G01L11/02;H01L41/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650093 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： |
本发明公开一种调制薄膜激光感生电压的方法，属于功能薄膜材料领域。选取c轴倾斜的单晶压电材料（如SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 调制 薄膜 激光 感生 电压 方法 | ||
【主权项】：
1.一种调制薄膜激光感生电压的方法，其特征在于：选取c轴倾斜的单晶压电材料作为衬底，在单晶压电衬底上生长具有激光感生电压效应的外延薄膜，在压电衬底两端施加外电压，控制外电压的大小即可调制薄膜的激光感生电压。
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