[发明专利]后端介电材料的可靠性评估方法有效
| 申请号： | 201810236020.7 | 申请日： | 2018-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN108508333B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 杨盛玮;韩坤 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R31/12 | 分类号： | G01R31/12;G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 董琳 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种后端介电材料的可靠性评估方法，包括：对晶圆所有待检测点进行测试，获取各待检测点的电流‑电压曲线、击穿电压以及实际击穿寿命；选取任意一点作为参考点，测量得到参考点的金属间距；对晶圆各个待检测点的电流‑电压曲线进行线性拟合，获取各个待检测点的线性拟合的斜率与金属间距之间的对应关系；计算得到各个待检测点的金属间距计算值；计算得到各个待检测点的实际击穿电场强度，所述击穿电场强度与金属间距无关；计算在统一恒定测试电场下的修正击穿寿命；根据实际击穿电场强度以及修正击穿寿命，对后端介电材料的本征可靠性进行评估。上述方法可以缩短后端制程开发周期。 | ||
| 搜索关键词： | 后端 材料 可靠性 评估 方法 | ||
【主权项】：
1.一种后端介电材料的可靠性评估方法，其特征在于，包括：对晶圆所有待检测点进行测试，获取各个待检测点的电流‑电压曲线、击穿电压以及在恒定测试电压下的金属间介电材料的实际击穿寿命；选取所有待检测点中的任意一点作为参考点，测量得到参考点的金属间距；对晶圆各个待检测点的电流‑电压曲线进行坐标变换之后，再进行线性拟合，获取各个待检测点的线性拟合的斜率与金属间距之间的对应关系；根据所述斜率与金属间距之间的对应关系，以及所述参考点的斜率与参考点的金属间距，计算得到各个待检测点的金属间距计算值；根据所述各个待检测点的金属间距计算值以及各个待检测点的击穿电压，计算得到各个待检测点的实际击穿电场强度，所述实际击穿电场强度与金属间距无关；计算各个待检测点在恒定测试电场下的修正击穿寿命，所述恒定测试电场为参考点在所述恒定测试电压下的电场；根据各个待检测点的实际击穿电场强度以及恒定测试电场下的修正击穿寿命，对后端介电材料的本征可靠性进行评估。
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