[发明专利]感应泡生法晶体生长装置及其控制方法在审
| 申请号： | 201810223296.1 | 申请日： | 2018-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN110284187A | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 刘晓明;刘正伟;尹祥麟;张泽众;张欣瑶 | 申请（专利权）人： | 夕心科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/16 |
| 代理公司： | 上海科律专利代理事务所(特殊普通合伙) 31290 | 代理人： | 袁亚军;金碎平 |
| 地址： | 200125 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种感应泡生法晶体生长装置及其控制方法，包括提拉炉，其中，所述提拉炉内设有保温罩和保温桶，所述保温罩和保温桶之间形成有密闭的空腔，所述空腔的纵向高度小于横向宽度，所述保温桶内设有铱金坩埚，所述铱金坩埚外设有感应线圈进行加热，并在空腔中形成温度梯度变化。本发明提供的感应泡生法晶体生长装置及其控制方法，能够实现更大尺寸高温氧化物晶体制备，降低晶体制造成本，从而解决高温氧化物晶体生长的尺寸问题和产业化过程的投入成本问题。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长装置 保温桶 泡生法 空腔 高温氧化物晶体 保温罩 提拉炉 铱金 坩埚 温度梯度变化 产业化过程 成本问题 感应线圈 制造成本 密闭 外设 加热 制备 生长 | ||
【主权项】：
1.一种感应泡生法晶体生长装置，包括提拉炉，其特征在于，所述提拉炉内设有保温罩(1)和保温桶(2)，所述保温罩(1)和保温桶(2)之间形成有空腔(3)，所述空腔(3)的纵向高度小于横向宽度，所述保温桶(2)内设有铱金坩埚(5)，所述铱金坩埚(5)外设有感应线圈(4)进行加热，并在空腔(3)中形成温度梯度。
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