[发明专利]金属陶瓷复合光谱选择性吸收涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201810213069.0 | 申请日： | 2018-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN108468016A | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 夏荣斌;师晶;王成兵;令晓明;黄海洋 | 申请（专利权）人： | 兰州交大常州研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/35;F24S70/225;F24S70/25;F24S70/30 |
| 代理公司： | 常州市江海阳光知识产权代理有限公司 32214 | 代理人： | 孙培英 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属陶瓷复合光谱选择性吸收涂层及其制备方法，自覆膜基底至表面依次包括红外反射层、吸收层和减反射层，红外反射层为金属铝溅射沉积层，吸收层为铝氮+钛氮的溅射沉积层，减反射层为铝氮溅射沉积层。本发明的吸收涂层涉及的元素种类少，制备过程的靶材仅涉及铝靶、钛钯，工作气体仅涉及氩气和氮气，因此制备工艺简单，操作简单，涂层中各层的组分控制更精确；经实测，在1235铝合金基底上吸收涂层的吸收率达94%，发射率为7%。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射沉积层 选择性吸收涂层 红外反射层 复合光谱 减反射层 金属陶瓷 吸收涂层 吸收层 铝氮 制备 吸收率 氮气 氩气 工作气体 铝合金基 制备工艺 制备过程 组分控制 发射率 金属铝 靶材 覆膜 基底 铝靶 钛氮 钛钯 实测 | ||
【主权项】：
1.一种金属陶瓷复合光谱选择性吸收涂层，自覆膜基底至表面依次包括红外反射层、吸收层和减反射层，其特征在于：红外反射层为金属铝溅射沉积层，吸收层为铝氮+钛氮的溅射沉积层，减反射层为铝氮溅射沉积层。
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