[发明专利]红外光学材料微观缺陷检测装置及远红外显微镜头在审
| 申请号： | 201810209430.2 | 申请日： | 2018-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN108375584A | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 周刚;潘养辉;朱光春;陈惠广 | 申请（专利权）人： | 宁波舜宇红外技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京谨诚君睿知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11538 | 代理人： | 陆鑫;延慧 |
| 地址： | 315400 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种红外光学材料微观缺陷检测装置、用于该装置的远红外显微镜头及该检测装置的检测方法，远红外显微镜头包括：沿着光轴从物侧至像侧依次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜；所述第一透镜、所述第三透镜和所述第四透镜为锗系玻璃，所述第二透镜为硫系玻璃；所述第一透镜和所述第三透镜的物侧面为球面、像侧面为非球面；所述第三透镜的非球面具有衍射环带；所述第二透镜和所述第四透镜的物侧面和像侧面均为球面。根据本发明的远红外显微镜头可以对肉眼无法观察的透远红外线的红外光学材料(硅、锗或硫系玻璃等)内部的微观缺陷进行观察，可以清晰地观察到气泡、杂质和/或裂纹等不同类型的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 透镜 显微镜头 远红外 红外光学材料 检测装置 微观缺陷 球面 硫系玻璃 非球面 物侧面 像侧面 观察 依次排列 远红外线 光轴 环带 物侧 像侧 衍射 锗系 玻璃 检测 清晰 | ||
【主权项】：
1.一种红外光学材料微观缺陷检测装置，其特征在于，包括：物料夹持调整单元(1)，用于夹持红外光学材料并且调整红外光学材料的位置；红外成像单元(2)，位于所述物料夹持调整单元(1)的一侧，用于对红外光学材料聚焦成像；红外光单元(3)，位于所述物料夹持调整单元(1)的另一侧，用于提供红外线；支承单元(4)，用于支承所述物料夹持调整单元(1)、红外成像单元(2)和红外光单元(3)；所述红外成像单元(2)包括所述远红外显微镜头(201)。
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