[发明专利]大口径锥镜面形检测系统及检测方法有效
| 申请号： | 201810187098.4 | 申请日： | 2018-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN108507489B | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 卢云君;唐锋;王向朝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种大口径锥镜面形检测系统及检测方法，测量系统包含：波面测量干涉仪，第一安装插口、第二安装插口、工件台、平面参考镜、第一计算全息片和第二计算全息片，待测锥镜安装在工件台上，其轴线与干涉仪光轴平行，平面参考镜安装在第一安装插口，平面参考镜、第一计算全息片、第二计算全息片与波面测量干涉仪平行。通过工件台在锥镜轴线方向扫描定位，波面测量干涉仪测量对应锥镜不同环带位置的面形，通过拼接完成锥镜全口径面形的测量。本发明具有测量效率高、测量口径范围大的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 口径 锥镜面形 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种大口径锥镜面形检测系统，其特征在于包含波面测量干涉仪(1)、第一安装插口(2)、第二安装插口(3)、工件台(4)、平面参考镜(7)、第一计算全息片(8)、第二计算全息片(9)；所述的工件台(4)用于安置待测的凹锥镜(5)和凸锥镜(6)；所述的平面参考镜(7)安装在第一安装插口(2)，所述的第二安装插口(3)用于第一计算全息片(8)或第二计算全息片(9)的安装；所述的工件台(4)运动方向与激光干涉仪(1)的光轴方向平行；所述的第一计算全息片(8)、第二计算全息片(9)与波面测量干涉仪(1)平行；所述的待测凹锥镜(5)和待测凸锥镜(5)的对称轴与波面测量干涉仪(1)的光轴方向平行。
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