[发明专利]一种硅片与片盒脱离机构在审
| 申请号： | 201810159640.5 | 申请日： | 2018-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN108372963A | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 陈景韶;葛林五;葛林新;李杰;丁高生 | 申请（专利权）人： | 上海提牛机电设备有限公司 |
| 主分类号： | B65B69/00 | 分类号： | B65B69/00;B65G47/90 |
| 代理公司： | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人： | 周涛 |
| 地址： | 201405 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片与片盒脱离机构，属于硅片清洗技术领域。该脱离机构包括底板、竖向固定支架、竖向移动支架、水平移动平台、硅片承载机构、驱动水平移动平台产生水平移动的第一驱动机构和驱动竖向移动支架产生竖向移动的第二驱动机构，所述竖向固定支架垂直设置在底板的上表面，所述竖向移动支架与固定支架滑动连接，所述水平移动平台与竖向移动支架滑动连接，所述水平移动平台上设有供硅片承载机构通过的通过空间，所述硅片承载机构设在底板的上方，且硅片承载机构与水平移动平台上的通过空间相对应。该机构自动化程度高，可以快速准确的将硅片和片盒进行分离，为后续硅片清洗做好准备，提高了硅片清洗的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 水平移动平台 支架 竖向移动 硅片承载 底板 硅片清洗 脱离机构 硅片 片盒 滑动连接 竖向固定 第一驱动机构 驱动 垂直设置 固定支架 驱动机构 上表面 自动化 | ||
【主权项】：
1.一种硅片与片盒脱离机构，其特征在于，该脱离机构包括底板(1)、竖向固定支架(2)、竖向移动支架(3)、水平移动平台(4)、硅片承载机构(5)、驱动水平移动平台(4)产生水平移动的第一驱动机构和驱动竖向移动支架(3)产生竖向移动的第二驱动机构，所述竖向固定支架(2)垂直设置在底板(1)的上表面，所述竖向移动支架(3)与固定支架滑动连接，所述水平移动平台(4)与竖向移动支架(3)滑动连接，所述水平移动平台(4)上设有供硅片承载机构(5)通过的通过空间，所述硅片承载机构(5)设在底板(1)的上方，且硅片承载机构(5)与水平移动平台(4)上的通过空间相对应。
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