[发明专利]一种物体表面平整度快速测量方法

摘要

本发明一种物体表面平整度快速测量方法属于工业、生产、机械、光学、检测、测试等技术领域。该方法首先调整被测物件，然后设定图像传感器的成像时间、非成像时间和阈值，再调整图像传感器的成像时间与所述限位凸起位于运动块中的劣弧通槽中且运动块静止的时间重合，接着转动电机，使电机完成N周转动，图像传感器得到N个图像数据，再从图像传感器得到N个图像数据中找到最大值和最小值，最后对被测物件上表面平整度进行评价；本发明不仅能够对物体表面平整度进行定性检测，而且操作过程简单，操作方法容易，而且能够对噪声进行滤除或监测，检测结果准确。

主权项

1.一种物体表面平整度快速测量装置方法，其在于，包括以下步骤：步骤a、调整被测物件(1‑6)，使所述被测物件(1‑6)上表面的某一位置位于所述物镜(1‑4)的焦点位置，且要求限位凸起(2‑9)位于运动块(2‑3)中的劣弧通槽中的最低点，限位凸起(2‑9)位于其运动轨迹的最低点；步骤b、设定图像传感器(1‑9)的成像时间t1、非成像时间t2和阈值t，其中，L为所述运动块(2‑3)中的劣弧通槽长度，ω为所述电机(2‑6)的旋转角速度，r为所述运动块(2‑3)中的劣弧通槽的半径，π为圆周率；步骤c、调整图像传感器(1‑9)的成像时间t1与所述限位凸起(2‑9)位于运动块(2‑3)中的劣弧通槽中且运动块(2‑3)静止的时间重合；步骤d、转动电机(2‑6)，使电机(2‑6)完成N周转动，在限位凸起(2‑9)位于运动块(2‑3)中的劣弧通槽中且运动块(2‑3)静止时，所述二维平移台(1‑5)静止，在其余时间，在二维平移台(1‑5)在水平面内运动；图像传感器(1‑9)得到N个图像数据，分别为fig1,fig2,...,figN；步骤e、从图像传感器(1‑9)得到N个图像数据中找到最大值figmax和最小值figmin；步骤f、对被测物件(1‑6)上表面平整度进行评价，如果：被测物件(1‑6)上表面平整度不满足要求；被测物件(1‑6)上表面平整度不满足要求。