[发明专利]一种光通信波段聚合物波导光栅耦合器及其制作方法在审
| 申请号： | 201810146911.3 | 申请日： | 2018-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN108107506A | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 王凌华;张雅珍;王少昊 | 申请（专利权）人： | 福州大学 |
| 主分类号： | G02B6/124 | 分类号： | G02B6/124;G02B6/13 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡学俊 |
| 地址： | 350108 福建省福*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种光通信波段聚合物波导光栅耦合器及其制作方法，波导光栅耦合器包括光栅结构及波导结构，光栅结构由衬底、低折射率波导下包层、高折射率介质层、高折射率波导芯层和空气层构成，波导结构由衬底、低折射率波导下包层、高折射率波导芯层和空气层构成。其关键制备工艺包括：制作主模具和软副模具；制作光栅结构及波导结构的衬底和低折射率波导下包层；制作光栅结构的高折射率介质层；旋涂高折射率聚合物波导芯层材料。本发明实现工艺简单、成本低，能有效降低聚合物波导与普通单模光纤之间通过端面耦合方式进行对准的难度，有助于推动聚合物集成光子器件在光传感与光互连方面的应用研究。 | ||
| 搜索关键词： | 聚合物波导 光栅结构 波导下包层 波导结构 低折射率 高折射率 衬底 制作 高折射率介质层 光通信波段 光栅耦合器 波导芯层 空气层 波导光栅耦合器 集成光子器件 单模光纤 端面耦合 芯层材料 应用研究 制备工艺 聚合物 副模具 光传感 光互连 主模具 旋涂 对准 | ||
【主权项】：
1.一种光通信波段聚合物波导光栅耦合器，其特征在于，包括波导耦合光栅结构及波导结构，所述波导耦合光栅结构由衬底、低折射率波导下包层、高折射率介质层、高折射率波导芯层和空气层构成，所述波导结构由衬底、低折射率波导下包层、高折射率波导芯层和空气层构成，所述波导耦合光栅结构及波导结构一体化制作于同一衬底上，所述波导耦合光栅结构及波导结构通过高折射率波导芯层有效连接；根据具体应用目标，所述衬底材料可选择硅或其它与波导制备工艺相兼容的材料，包括石英、陶瓷或柔性聚合物。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福州大学，未经福州大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810146911.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
