[发明专利]微纳米光纤EFPI传感器F-P腔体制作装置及方法

摘要

本发明公开了一种属于光纤传感技术领域的一种微纳米光纤EFPI传感器F‑P腔体制作装置及方法。所述装置由扩束准直聚焦光路和制作平台组成，所述光路包括激光器、扩束准直镜、微调机构、反射镜、聚焦透镜，用于将一束发散的激光束扩束准直聚焦为微米级的平行激光束；所述制作平台包括水平、竖直旋转台和直线滑台，用于实现膜片切割、膜片与毛细管熔接以及光纤与毛细管熔接等一体化集成制作。所述方法将整形后的激光光束均匀辐射至制作平台焊件表面，利用制作平台一体化集成构造对光纤EFPI传感器进行精密熔接密封。本发明制作过程一体集成连续，操作简单方便，有效保证焊点均匀，利用微米级腔长调节技术可实现实时监测、自动反馈功能，具有重要的应用价值。

主权项

1.一种微纳米光纤EFPI传感器F‑P腔体制作装置，其特征在于，包括：激光扩束准直聚焦光路和传感器制作平台，所述激光扩束准直聚焦光路由三部分组成，第一部分为二氧化碳激光器(1)，作为焊接激光热源；第二部分由扩束准直镜(2)、扩束准直镜筒(3)、4个顶丝(4)组成，所述扩束准直镜(2)位于扩束准直镜筒(3)的前端，通过扩束准直镜筒(3)上的4个顶丝(4)来调节入射到反射镜(6)上的激光束位置和角度；第三部分包括竖直方向依次连接的微调机构(5)、反射镜(6)、聚焦透镜(7)、镜筒(8)、聚焦透镜(9)；所述反射镜(6)与水平线呈45°夹角；所述镜筒(8)开2个孔，分别放置两个焦距可替换的聚焦透镜(7)和聚焦透镜(9)，用于调节激光光斑的大小，经聚焦后的激光光束光斑焦点位置保持不变；所述传感器制作平台位于激光扩束准直聚焦光路的下方，由竖直旋转台(10)、水平旋转台(11)、L型支架(12)、直线滑台(13)组成；所述竖直旋转台(10)、水平旋转台(11)与直线滑台(13)依次固定在L型支架(12)上；其中，竖直旋转台(10)与水平旋转台(11)相互独立呈面垂直，竖直旋转台(10)与直线滑台(13)呈面平行；所述激光扩束准直聚焦光路将经过反射镜(6)和聚焦透镜整形后的光束作用于传感器制作平台上，对传感器进行激光熔接。