[发明专利]硬掩模用组合物在审
| 申请号： | 201810130570.0 | 申请日： | 2018-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN108508702A | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 梁敦植;梁振锡;朴根永;崔汉永;崔相俊 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司;崔相俊 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;宋海花 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： |
本发明提供一种硬掩模用组合物，其通过包含含有下述化学式1的重复单元的聚合物及溶剂，从而能够形成平坦性、溶解性和耐蚀刻性同时提高的硬掩模。化学式1中，Ar1和Ar2各自独立地为苯二基或萘二基，Ar3和Ar4各自独立地为苯基或萘基，Ar1、Ar2、Ar3和Ar4的氢原子各自独立地可以被羟基取代，选自由Ar1、Ar2、Ar3和Ar4组成的组中的至少两个可以将彼此的氢原子取代而连接形成环，n为1～200的整数。化学式1 |
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| 搜索关键词： | 硬掩模 氢原子取代 耐蚀刻性 聚合物 平坦性 氢原子 萘二基 溶剂 苯基 萘基 自由 | ||
【主权项】：
1.一种硬掩模用组合物，其包含含有下述化学式1的重复单元的聚合物及溶剂，化学式1![]()
式中，Ar1和Ar2各自独立地为苯二基或萘二基，Ar3和Ar4各自独立地为苯基或萘基，Ar1、Ar2、Ar3和Ar4的氢原子各自独立地可以被羟基取代，选自由Ar1、Ar2、Ar3和Ar4组成的组中的至少两个可以将彼此的氢原子取代而连接形成环，n为1～200的整数。
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