[发明专利]抗蚀剂亲水化处理剂有效
| 申请号： | 201810128003.1 | 申请日： | 2018-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN108415226B | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 坂西裕一 | 申请（专利权）人： | 株式会社大赛璐 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;C09D171/08 |
| 代理公司： | 北京坤瑞律师事务所 11494 | 代理人： | 封新琴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种抗蚀剂亲水化处理剂，其能够在抑制抗蚀剂涂膜的劣化的同时，将抗蚀剂涂膜的表面迅速且稳定地亲水化。为此，本发明的抗蚀剂亲水化处理剂至少含有下述成分(A)和成分(B)。成分(A)：以下述式(a)表示的聚甘油或其衍生物R |
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| 搜索关键词： | 抗蚀剂亲 水化 处理 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂亲水化处理剂，其至少含有下述成分(A)和成分(B)，成分(A)：以下述式(a)表示的聚甘油或其衍生物，RaO‑(C3H6O2)n‑H (a)式(a)中，Ra表示氢原子、任选具有羟基的碳原子数1～18的烃基、或碳原子数2～24的酰基，n表示括号内所示的甘油单元的平均聚合度，为2～60的整数；成分(B)：水。
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