[发明专利]超高灵敏仿生柔性纳米传感器

摘要

本发明涉及一种柔性传感器，具体是一种超高灵敏仿生柔性纳米传感器，解决了现有传感器二维高灵敏、高柔性探测问题。包括柔性弹性基底和导电金属薄膜层，其中紫外光固化聚氨酯丙烯酸酯组成弹性基底，采用溅射沉积金属镍形成金属薄膜层，金属薄膜层上通过机械弯曲金属层形成呈十字排列的两条裂缝，裂缝十字交叉中心圆形凹槽，并将两条裂缝分成四条独立裂缝。施加电压时，裂缝是电流通道的主要电阻来源。外界引起金属层裂缝的变形，通过检测裂缝断开‑连接过程中引起的电流通道中镍电阻的变化实现机械信号的高灵敏探测，十字型裂缝实现二维方向高灵敏探测。可用于检测声音、心率等微小振动信号，在医学检测、微振动检测等领域有广泛的应用前景。

主权项

1.一种超高灵敏仿生柔性纳米传感器，其特征在于：包括柔性弹性基底（1）、导电金属薄膜层（2），导电金属薄膜层（2）上设有十字形金属薄膜裂缝，所述的裂缝位置处下方的柔性弹性基底（1）上也设有基底裂缝（8），十字形金属薄膜裂缝的交叉位置为圆形凹槽（3），圆形凹槽（3）底部位于柔性弹性基底（1）上，圆形凹槽（3）将导电金属薄膜层（2）两条裂缝分成独立的四条裂缝（4、5、6、7）。