[发明专利]一种悬空石墨烯传播等离激元波导器件及其制备方法有效
| 申请号： | 201810110711.2 | 申请日： | 2018-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN108428986B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 戴庆;胡海;杨晓霞;胡德波;刘梦昆;郭相东 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | H01P3/00 | 分类号： | H01P3/00;H01P11/00 |
| 代理公司： | 北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11416 | 代理人： | 庞立岩;顾珊 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种悬空石墨烯传播等离激元波导器件，包括：自下而上依次设置的衬底，石墨烯层和电极；所述衬底包括至少一个孔结构，用于支撑石墨烯层和电极；所述石墨烯层覆盖在所述衬底的孔结构上，构成悬空石墨烯结构；所述电极用于电学测量和静电调控石墨烯载流子浓度，置于石墨烯层之上。本发明提供一种悬空石墨烯结构上支持的传播等离激元，这种结构可以有效消除石墨烯等离激元的介电损耗，降低等离激元的衰减率。另外，由于空气介电常数很小，悬空石墨烯上的等离激元波长很长，配合其低衰减的特性，可实现长波长的传播距离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬空 石墨 传播 离激元 波导 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种悬空石墨烯传播等离激元波导器件，该器件包括：自下而上依次设置的衬底，石墨烯层和电极；所述衬底包括至少一个孔结构，用于支撑石墨烯层和电极；所述石墨烯层覆盖在所述衬底的孔结构上，构成悬空石墨烯结构；所述电极置于石墨烯层之上，用于电学测量和静电调控石墨烯载流子浓度。
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