[发明专利]一种调焦装置、光刻机及调焦装置的调焦方法有效
| 申请号： | 201810097390.7 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN110095944B | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 李淑蓉;徐荣伟;庄亚政;孙建超 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种调焦装置、光刻机及调焦装置的调焦方法，通过在光路上依次设置照明光源、照明单元、投影单元和光电探测单元；投影单元包括至少一个投影光栅；光电探测单元包括至少一个探测光栅对和至少两个光电探测器，探测光栅对与投影光栅一一对应设置，探测光栅对包括两个错位放置的子探测光栅，子探测光栅与光电探测器一一对应设置。本发明提供的技术方案，通过采用投影光栅产生多个光栅周期的投影光栅像，减小了工艺适应性对测量误差的影响，并且通过光电探测器获取经过与其对应的子探测光栅的探测信号，根据探测信号获取电压差分信号，避免了扫描反射镜导致的测量误差，提高了测量离焦量准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调焦 装置 光刻 方法 | ||
【主权项】：
1.一种调焦装置，其特征在于，包括：在光路上依次设置的照明光源、照明单元、投影单元和光电探测单元；所述投影单元包括至少一个投影光栅；所述光电探测单元包括至少一个探测光栅对和至少两个光电探测器，所述探测光栅对与所述投影光栅一一对应设置，所述探测光栅对包括两个错位放置的子探测光栅，所述子探测光栅与所述光电探测器一一对应设置。
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