[发明专利]一种玻璃毛细管中加工微结构的变形矫正方法

摘要

本发明涉及一种玻璃毛细管中加工微结构的变形矫正方法：(1)设计待制备的微结构的形状和尺寸；(2)通过仿真软件对设计的微结构进行实际建模并仿真；(3)相应的补偿变化，根据变形趋势将待制备的微结构中沿毛细管径向方向的线条进行相应的补偿变化，得出矫正后的线条尺寸并将其代入待制备的微结构中；(4)打开飞秒激光器，将飞秒激光器锁模后导入到微加工工作台中，进行对焦；(5)完成对焦后，进行光刻。本发明能矫正毛细管中制备微结构视场上所发生的变形现象，矫正了在毛细管加工微结构视场上产生的变形误差，矫正方法简单有效，易操作，实现了在玻璃毛细管中精确地制备各种所需的微结构，扩大了毛细管的应用领域。

主权项

1.一种玻璃毛细管中加工微结构的变形矫正方法，其特征在于包括以下步骤：(1)打开微加工工作台，设计待制备的微结构的形状和尺寸并保存至结构库中；(2)通过仿真软件对上述设计的微结构进行实际建模并仿真，同时仿真出飞秒激光光束聚焦位置并计算仿真的微结构的尺寸；(3)将步骤(2)中测得的仿真微结构的尺寸与待制备的微结构进行比较，拟合出微结构沿毛细管径向的变形趋势，根据该变形趋势将待制备的微结构中沿毛细管径向方向的线条进行相应的补偿变化，得出矫正后的线条尺寸，将经矫正后的线条尺寸代入待制备的微结构中；(4)打开飞秒激光器，将飞秒激光器锁模后导入到微加工工作台中，将内部注满光刻胶的玻璃毛细管横向固定于微加工工作台的三维移动平台上并进行对焦；(5)完成对焦后，提取控制软件设计并保存矫正好的微结构，用飞秒激光器对该微结构进行光刻。