[发明专利]一种电阻式微传感器有效
| 申请号： | 201810083667.0 | 申请日： | 2018-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN108362627B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 桂林;王荣航;高猛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所;中国科学院大学 |
| 主分类号： | G01N15/10 | 分类号： | G01N15/10;G01N15/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电阻式微传感器，包括待测液流道、两个微电极流道和微电阻检测线路；其中，两个微电极流道对称设置于待测液流道的两侧，微电极流道内填充导电液体形成微电极，微电极流道和待测液流道内的待测液构成微电阻，两个微电极流道均与微电阻检测线路相连接。本发明在微电极流道内填充导电液体形成微电极，与现有技术采用金属溅射的方法在微流道的下部沉积出微电极相比，不需溅射贵重金属(如铂、金等)，提高了电阻式微传感器的稳定性，具有工艺简单、耗时短的优点，降低了成本。当有待测液或微粒通过待测液流道时，通过微电阻检测线路检测电阻值的变化，并通过监测微电阻的阻值变化规律，可分析得到待测液的流速、体积、组分等参数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电阻 式微 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种电阻式微传感器，其特征在于，包括待测液流道、两个微电极流道和微电阻检测线路；其中，两个所述微电极流道对称设置于所述待测液流道的两侧，所述微电极流道内填充导电液体形成微电极，所述微电极流道和所述待测液流道内的待测液构成微电阻，两个所述微电极流道均与所述微电阻检测线路相连接。
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