[发明专利]一种减少喷墨打印薄膜表面裂纹的热处理方法

摘要

本发明属于喷墨打印电子器件的技术领域，公开了一种减少喷墨打印薄膜表面裂纹的热处理方法。热处理方法为：(1)溶液的配制：采用溶剂将聚合物和金属氧化物的前驱体配成溶液；所述溶液为添加了聚合物的能够采用溶胶凝胶法成膜的体系；所述聚合物为水溶性聚合物；(2)喷墨打印薄膜：将步骤(1)的溶液喷墨打印成膜，获得凝胶化薄膜；(3)热处理：将凝胶化薄膜于60～80℃干燥15～48h，然后梯度退火，最后高温热处理，获得打印薄膜。本发明的热处理方法减少了喷墨打印薄膜表面裂纹，使得所制备的薄膜表面平整与致密，提高了薄膜的性能。

主权项

1.一种减少喷墨打印薄膜表面裂纹的热处理方法，其特征在于：包括以下步骤：/n（1）溶液的配制：采用溶剂将聚合物和金属氧化物的前驱体配成溶液；所述溶液为添加了聚合物的能够采用溶胶凝胶法成膜的体系；所述聚合物为水溶性聚合物；/n（2）喷墨打印薄膜：将步骤（1）的溶液喷墨打印成膜，获得凝胶化薄膜；/n（3）热处理：将凝胶化薄膜于60~80℃干燥15~48h，然后进行梯度退火，最后高温热处理，获得打印薄膜；/n步骤（3）中所述梯度退火是指在依次增大的不同温度下进行保温，依次增大的不同温度取自100~150℃包括端点；所述不同温度中相邻温度间的梯度为5~20℃；所述不同温度的个数≥3；每一个温度下保温的时间为3~10min；/n步骤（3）中所述高温热处理的温度为250~400℃；/n步骤（1）中所述金属氧化物前驱体为氧化锆前驱体、氧化铝前驱体、氧化铪前驱体或氧化锡前驱体；其中，/n当氧化锆前驱体为八水合氯氧化锆时，溶剂为乙二醇与乙二醇单甲醚、乙醇、乙二醇乙醚、异丙醇、丙醇中的一种以上的混合物；氧化锆前驱体为醋酸锆时，溶剂为乙二醇；氧化锆前驱体为硝酸锆时，溶剂为乙二醇单甲醚；氧化锆前驱体为乙酰丙酮锆时，溶剂为乙二醇、甲醇、水；/n当氧化铝前驱体为硝酸铝或醋酸铝，溶剂为乙二醇或乙二醇单甲醚；/n当氧化铪前驱体为八水合氧氯化铪或氯化铪，溶剂为乙二醇和/或乙二醇单甲醚；/n当氧化锡前驱体为氯化锡时，溶剂为乙二醇和/或乙二醇单甲醚；/n步骤（1）中所述聚合物为聚丙烯酰胺、聚乙二醇、聚乙烯醇、聚丙烯酸或聚乙烯吡咯烷酮；/n步骤（1）中所述聚合物的用量为溶剂质量的0.25%~3%；/n步骤（1）中所述金属氧化物的前驱体在溶剂与聚合物中的浓度为0.1~1.0 M。/n