[发明专利]一种Cr2 有效
| 申请号： | 201810077319.2 | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN108330455B | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 柯培玲;刘京周;汪爱英;王丽;张栋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54;C23C14/58;C23C14/06 |
| 代理公司： | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明提供一种Cr |
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| 搜索关键词： | 一种 cr base sub | ||
【主权项】：
1.一种Cr2AlC相纯度可调控的涂层制备方法，采用磁控溅射技术，其特征是：在真空腔体中通入氩气和碳氢气体，使用Cr2Al靶和纯Al靶共同溅射，在经过清洗处理的基体表面沉积包含Cr、Al、C三种元素成分的涂层；然后，将所沉积涂层进行真空热处理生成Cr2AlC相；通过控制Cr2Al靶与Al靶的溅射电流调控涂层中Cr2AlC相的质量含量，即Cr2AlC相纯度。
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