[发明专利]一种二维材料层数快速识别方法及设备

摘要

本发明公开了一种二维材料层数识别方法，首先，将椭圆偏振光以基底布鲁斯特角入射到待测样品表面，探测得到反射光偏振信息，进而得到椭偏参数；然后将椭圆偏振光以基底的布鲁斯特角入射到空白基底表面，探测得到出射光偏振信息，得到椭偏参数；最后由上述测量数据计算得到椭偏参数的对比度，将仿真得到的对比度曲线峰值理论值和实测值进行比较，判断二维材料的有无和层数。该方法可以实现对二维材料层数的快速识别，原理简单，易于操作。

主权项

1.一种二维材料的层数识别方法，其特征在于，根据选定的入射光波长λ的波长范围确定布鲁斯特角范围，将入射角θ设定为布鲁斯特角，通过仿真得到不同层数的目标二维材料样品在布鲁斯特角范围内的椭偏参数的理论对比度测量目标二维材料的样品在布鲁斯特角范围内的椭偏参数的实测对比度将与相比较，识别出目标二维材料的层数；实测对比度的峰值与某一层数的理论对比度的峰值差别在±δ％范围内时，视为实测对比度与该层数的理论对比度相匹配，从而确定目标二维材料的层数，判断公式如下：其中，δ＜50；获得理论对比度实测对比度的方法如下：对目标二维材料以及包含目标二维材料的样品中的空白基底分别进行仿真计算得到对应椭偏参数W_i^T(λ,θ)和其中二维材料的层数记为i，i＝1,2,3,……，则理论对比度如下：测量包含目标二维材料的样品和空白基底的椭偏参数数据W_i^M(λ,θ)和则实测对比度如下：