[发明专利]一种基于二维原子晶体的耐高温忆阻器有效
申请号: | 201810050297.0 | 申请日: | 2018-01-18 |
公开(公告)号: | CN108365092B | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 缪峰;王淼 | 申请(专利权)人: | 南京大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 陈建和 |
地址: | 210093 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 基于二维原子晶体的耐高温忆阻器,所述忆阻器结构是基底上具有底电极/电介质/顶电极的三明治结构;所述的电介质厚度范围从单个原子层(约0.3nm)到1μm;所述的底电极和顶电极由惰性金属材料如铂、金、钯,柔性导电材料如氧化铟锡或包括石墨烯半金属型二维原子晶体材料;所述的电介质由二维原子晶体材料组成;所述基底包括衬底或生长于衬底表面的绝缘材料层,所述衬底材料包括硅、聚酰亚胺或聚二甲基硅氧烷,所述绝缘材料包括氧化硅、氮化硅或氧化铝。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 二维 原子 晶体 耐高温 忆阻器 | ||
【主权项】:
1.一种基于二维原子晶体的耐高温忆阻器,其特征在于:所述忆阻器结构是基底上具有底电极/电介质/顶电极的三明治结构;所述的电介质厚度范围从单个原子层到1μm;所述的底电极和顶电极由惰性金属材料如铂、金、钯,柔性导电材料如氧化铟锡或包括石墨烯半金属型二维原子晶体材料;所述的电介质由二维原子晶体材料组成;所述基底包括衬底或生长于衬底表面的绝缘材料层,所述衬底材料包括硅、聚酰亚胺或聚二甲基硅氧烷,所述绝缘材料包括氧化硅、氮化硅或氧化铝。
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