[发明专利]一种基于二维原子晶体的耐高温忆阻器有效

专利信息
申请号: 201810050297.0 申请日: 2018-01-18
公开(公告)号: CN108365092B 公开(公告)日: 2020-06-16
发明(设计)人: 缪峰;王淼 申请(专利权)人: 南京大学
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 代理人: 陈建和
地址: 210093 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 基于二维原子晶体的耐高温忆阻器,所述忆阻器结构是基底上具有底电极/电介质/顶电极的三明治结构;所述的电介质厚度范围从单个原子层(约0.3nm)到1μm;所述的底电极和顶电极由惰性金属材料如铂、金、钯,柔性导电材料如氧化铟锡或包括石墨烯半金属型二维原子晶体材料;所述的电介质由二维原子晶体材料组成;所述基底包括衬底或生长于衬底表面的绝缘材料层,所述衬底材料包括硅、聚酰亚胺或聚二甲基硅氧烷,所述绝缘材料包括氧化硅、氮化硅或氧化铝。
搜索关键词: 一种 基于 二维 原子 晶体 耐高温 忆阻器
【主权项】:
1.一种基于二维原子晶体的耐高温忆阻器,其特征在于:所述忆阻器结构是基底上具有底电极/电介质/顶电极的三明治结构;所述的电介质厚度范围从单个原子层到1μm;所述的底电极和顶电极由惰性金属材料如铂、金、钯,柔性导电材料如氧化铟锡或包括石墨烯半金属型二维原子晶体材料;所述的电介质由二维原子晶体材料组成;所述基底包括衬底或生长于衬底表面的绝缘材料层,所述衬底材料包括硅、聚酰亚胺或聚二甲基硅氧烷,所述绝缘材料包括氧化硅、氮化硅或氧化铝。
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