[发明专利]一种洁净室用节能新风系统

摘要

一种洁净室用节能新风系统，包括三条风道，第一条是与回风主通道中的回风气体进行热交换的新风气体，第二条是从回风副通道排出并经第一过滤机组过滤的回风气体，第三条是从回风主通道进入多级过滤机组中净化的回风气体，当回风主通道排出的洁净度较低过滤成本较高或无法净化至需要洁净度时，可直接将回风废气排至气体处理室中。新风系统的设计大大降低了洁净室内的新风需求量，新风机组的能量耗费大大降低。

主权项

1.一种洁净室用节能新风系统，包括：洁净室的顶壁下方、底壁上方分别安装有顶板、漏风底板，顶板的正上方与顶壁之间形成回风副通道，漏风底板与底壁之间形成回风主通道，顶板四周洁净室的侧壁上设有与回风副通道连通的回风口，洁净室底壁的中央安装有与回风主通道连通的回风机组，新风系统还包括四周用隔热材料包裹的换热室，换热室中的换热通道中设有螺旋换热管，螺旋换热管占换热通道截面面积的1/2～4/5，换热通道的进口端连接回风机组的出风口，换热通道的出口端连接多级过滤机组且每级过滤机组内部设有洁净度检测装置，多级过滤机组的出口端与新风机组的进风口连接，螺旋换热管的出口端与新风机组的进风口连接；回风副通道及对应的洁净室顶壁的的中央位置开设有连通的出气口，出气口与第一过滤机组的进风口连接，第一过滤机组的出风口与新风机组的进风口连接，顶板的中央镶嵌固定有与新风机组出风口连接的送风设备，由送风设备将经新风机组处理后的气体送至洁净室；其中，多级过滤机组的出口端连接有气体处理室；供气体流通的输气管内设有控制气体流通的流量阀。