[发明专利]基于四波横向剪切干涉的激光光束质量动态测量装置有效
| 申请号： | 201810041227.9 | 申请日： | 2018-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN108279068B | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 朱日宏;孟令强;韩志刚;沈华;季琨皓;孔庆庆;经逸秋;李思宇;杨哲 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01J1/00 | 分类号： | G01J1/00 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱沉雁 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于四波横向剪切干涉的激光光束质量动态测量装置，沿光路依次设置分光镜、第一哈特曼衍射光栅、第一CCD相机、第二哈特曼衍射光栅、第二CCD相机。第一哈特曼衍射光栅与第一CCD相机设置于分光镜的反射光路上，第二哈特曼衍射光栅与第二CCD相机设置于分光镜的透射光路上，且第一哈特曼衍射光栅与第二哈特曼衍射光栅与分光镜的距离相等，第一CCD相机与第一哈特曼衍射光栅的距离与第二CCD相机与第二哈特曼衍射光栅的距离相等。本发明可以实现完整激光复振幅的测量，并精确测量出干涉小信号区域的信息，相较于单一四波横向剪切干涉仪测量光束质量测量时间并未增加，在保证测量效率的前提下提高了测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 横向 剪切 干涉 激光 光束 质量 动态 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基于四波横向剪切干涉的激光光束质量动态测量装置，其特征在于：包括分光镜（1）、第一哈特曼衍射光栅（2‑1）、第一电荷耦合元件相机（3‑1）、第二哈特曼衍射光栅（2‑2）和第二电荷耦合元件相机（3‑2）；沿光路依次设置分光镜（1）、第二哈特曼衍射光栅（2‑2）和第二电荷耦合元件相机（3‑2）；第一哈特曼衍射光栅（2‑1）与第一电荷耦合元件相机（3‑1）依次设置于分光镜（1）的反射光路上，第二哈特曼衍射光栅（2‑2）与第二电荷耦合元件相机（3‑2）依次设置于分光镜（1）的透射光路上；待测激光经过分光镜（1）分成两束，反射光经过第一哈特曼衍射光栅（2‑1）衍射后变为四束具有一定夹角的子光束，这四个子光束在第一电荷耦合元件相机（3‑1）上形成干涉条纹；透射光经过第二哈特曼衍射光栅（2‑2）衍射后变为四束具有一定夹角的子光束，这四个子光束在第二电荷耦合元件相机（3‑2）上形成干涉条纹。
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