[发明专利]一种微细结构的制造方法

摘要

本发明属于制造工艺技术领域，提供一种微细结构的制造方法，将增材制造(3D打印)与精密加工技术相结合，制造具有微细结构的器件，步骤为：(1)制备样件并对需要生成微细结构的表面进行加工；(2)采用3D打印技术将金属粉末打印在第一步切割出的铣削路径上，得到初始状态的微细结构。(3)对3D打印的结构进行加工，获得满足精度要求的微细结构，进一步进行抛光，提高表面质量。本发明可以克服传统MEMS制造工艺和机械加工过程的缺点。提高了加工精度和效率，改善了加工表面质量，而且降低了生产成本。

主权项

1.一种微细结构的制造方法，该方法在增减材复合制造机床上实现，其特征在于以下步骤：第一步，制作需要生成微细结构的样件，并对其表面进行加工；对需要生成微细结构的样件表面进行加工处理，粗糙度及平整度根据应用需求确定；根据需要生成的微细结构在加工后的器件表面切割通道作为铣削路径；所述的需要生成微细结构包括光学微细结构、微流体芯片或者芯片模具流路的微细结构；所述的光学微细结构的粗糙度要求为纳米级或亚纳米级；微流体芯片或者芯片模具流路的微细结构粗糙度要求为亚微米级；第二步，根据需要生成微细结构，采用3D打印技术将金属粉末打印在第一步切割出的铣削路径上，得到初始状态的微细结构；第三步，对第二步得到的微细结构进行加工，研磨或切割初始状态的微细结构，得到满足精度要求的微细结构，并对其进行抛光处理，去除毛刺和刀痕，降低粗糙度，提高表面质量，得到符合要求的微细结构；提高表面质量的同时保持微细结构的面形精度；所述的光学微细结构的面形精度要求为微米级或亚微米级；微流体芯片或者芯片模具流路的微细结构的面形精度要求为微米级。