[发明专利]一种提高ITO靶材坯体强度的方法在审
申请号: | 201810023777.8 | 申请日: | 2018-01-10 |
公开(公告)号: | CN108298977A | 公开(公告)日: | 2018-07-20 |
发明(设计)人: | 杨硕;郗雨林;朱玉龙 | 申请(专利权)人: | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 |
主分类号: | C04B35/457 | 分类号: | C04B35/457;C04B35/622;C04B35/634;C04B35/636 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人: | 孙笑飞 |
地址: | 471000 河南*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种提高ITO靶材坯体强度的方法,将ITO粉体与水溶剂混合制备成ITO浆料,之后注浆成型并脱模干燥后制成坯体,在制备用于注浆成型的ITO浆料之前,先将ITO粉体重量0.2‑0.6%的有机纤维和0.4‑1.6%的有机分散剂加入到ITO粉体重量11.1‑25%的水溶剂中,并调节其pH值为8‑11,通过搅拌使有机纤维分散在水溶剂中后,再向其中加入ITO粉体球磨制成ITO浆料。在成型过程中,可使靶材坯体的机械力学性能显著提高,抗折强度达到7.58‑10.03MPa,减少掉角、崩边、开裂等缺陷,从而提高大规格靶材产品的良率。 | ||
搜索关键词: | 水溶剂 浆料 坯体强度 有机纤维 注浆成型 靶材 粉体 坯体 制备 机械力学性能 有机分散剂 成型过程 脱模干燥 崩边 抗折 良率 球磨 | ||
【主权项】:
1.一种提高ITO靶材坯体强度的方法,将ITO粉体与水溶剂混合制备成ITO浆料,之后注浆成型并脱模干燥后制成坯体,其特征在于:在制备用于注浆成型的ITO浆料之前,先将ITO粉体重量0.2‑0.6%的有机纤维和0.4‑1.6%的有机分散剂加入到ITO粉体重量11.1‑25%的水溶剂中,并调节其pH值为8‑11,通过搅拌使有机纤维分散在水溶剂中后,再向其中加入ITO粉体球磨制成ITO浆料。
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