[发明专利]BPO光阻喷墨工艺有效

专利信息
申请号: 201810010168.9 申请日: 2018-01-05
公开(公告)号: CN108196432B 公开(公告)日: 2021-10-22
发明(设计)人: 兰颖脱 申请(专利权)人: 深圳市骏达光电股份有限公司
主分类号: G03F7/16 分类号: G03F7/16;G03F7/32;G03F7/40;G03F7/20
代理公司: 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 代理人: 阳开亮
地址: 518000 广东省深圳市宝安区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明适用于触摸屏技术领域,提供了一种BPO光阻喷墨工艺,包括:S1.将做完ITOpatten及Metal走线的玻璃件放置在弱碱性水中进行清洗;S2.将清洗后的玻璃件放置在台上,调试机台,控制机台电压信号程序,喷墨高度,运行速度,运行轨迹;直接在玻璃件上喷印成我们所需要的图案;S3.将喷墨后的玻璃件放置在曝光机中,进行曝光操作;S4.将曝光后的玻璃件放置在显影设备中,进行显影操作;S5.将显影后的玻璃件放置在烘烤设备中,进行烘烤操作。本发明提供的一种BPO光阻喷墨工艺,可实现金手指处局部BPO光阻的喷墨操作,可节省BPO光阻,节省成本,且由于只在金手指处直接喷印有图案的BPO光阻,进而在后续的曝光、显影时,无需使用辅助光罩遮住玻璃的其它部分,生产工艺较为简单,可大大提高生产效率、节省生产时间。
搜索关键词: bpo 喷墨 工艺
【主权项】:
1.BPO光阻喷墨工艺,其特征在于,包括:S1.将做完ITOpatten及Metal走线的玻璃件放置在弱碱性水中进行清洗,其中,所述玻璃件包括至少一个保护玻璃,每个所述保护玻璃均包括金手指;S2.将清洗后的玻璃件放置在台上,开启机台,控制机台电压信号程序,喷墨高度,运行速度,运行轨迹;直接在玻璃件上喷印成所需要的图案;S3.将喷墨后的玻璃件放置在曝光机中,开启曝光机,进行曝光操作;S4.将曝光后的玻璃件放置在显影设备中,开启显影设备,进行显影操作,其中,所述显影设备中的显影液为浓度为1.80%‑2.50%的四甲基氢氧化铵溶液;S5.将显影后的玻璃件放置在烘烤设备中,开启烘烤设备,进行烘烤操作。
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