[发明专利]一种新型磁流体-压电薄膜结构器件及其制造方法在审
| 申请号： | 201810004244.5 | 申请日： | 2018-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN107991632A | 公开（公告）日： | 2018-05-04 |
| 发明（设计）人： | 刘敬;李向阳 | 申请（专利权）人： | 宁波大红鹰学院 |
| 主分类号： | G01R33/00 | 分类号： | G01R33/00;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京君华知识产权代理事务所(普通合伙)11515 | 代理人： | 朱庆华 |
| 地址： | 315000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型的磁流体‑压电薄膜结构器件及其制造方法，本发明的器件包括压电三明治结构及磁流体层，压电三明治结构包括压电薄膜层和设置在压电薄膜层上、下表面的上电极层和下电极层，上电极层和下电极层之间设有引线（未示出）；磁流体层位于上电极层之上。本发明的器件磁场传感器灵敏度高，工作稳定性好，抗干扰能力强，无线无源，避免了长期工作状态下探头失效难以维修的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 流体 压电 薄膜 结构 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种新型磁流体‑压电薄膜结构器件，其特征在于：所述结构器件包括压电三明治结构及磁流体层（6），所述压电三明治结构包括压电薄膜层（4）和设置在所述的压电薄膜层（4）上、下表面的上电极层（5）和下电极层（3），上电极层（5）和下电极层（3）之间设有引线（未示出）；所述磁流体层（6）位于所述上电极层（5）之上。
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