[发明专利]大尺寸激光钕玻璃条纹检测装置在审

专利信息
申请号: 201810002938.5 申请日: 2018-01-02
公开(公告)号: CN108226188A 公开(公告)日: 2018-06-29
发明(设计)人: 胡俊江;倪加川;陈庆希;陈伟;胡丽丽 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G01N21/958 分类号: G01N21/958
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 201800 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种大尺寸激光钕玻璃内部条纹检测装置,由照明光学系统组件、氙灯控制电源、汇聚透镜组件、滑轨平台、样品平台、遮光罩和白色投影屏构成,本发明可实现大尺寸激光钕玻璃内部条纹检测,具有长期运行可靠、操作简便、成本低和检测速度快的特点,特别适合大尺寸激光钕玻璃的生产过程中条纹检测。
搜索关键词: 激光钕玻璃 条纹检测装置 条纹检测 照明光学系统 长期运行 滑轨平台 汇聚透镜 控制电源 生产过程 样品平台 投影屏 遮光罩 氙灯 检测
【主权项】:
1.一种大尺寸激光钕玻璃条纹检测装置,特征在于其构成包括:照明光学系统组件(1)、氙灯控制电源(2)、汇聚透镜组件(3)、滑轨平台(4)、样品平台(6)、遮光罩(7)和白色投影屏(8);所述的照明光学系统组件(1)包括内壁涂黑的外罩(110),该外罩(110)的右壁设有可变光阑(109),在所述的外罩(110)的中段设有散热小孔(105),该外罩(110)内有凹面反射镜(101)、凹面反射镜保护罩(102)、超高压短弧氙灯(104)、氙灯冷却风扇(106)、消色差聚光透镜(107)和消色差聚光透镜保护罩(108),所述的凹面反射镜(101)置于内壁涂黑的凹面反射镜保护罩(102)内,所述的消色差聚光透镜(107)置于内壁涂黑的消色差聚光透镜保护罩(108)内,所述的超高压短弧氙灯(104)置于所述的凹面反射镜(101)焦点处,所述的消色差聚光透镜(107)的左焦点与所述的超高压短弧氙灯(104)的位置重合,消色差聚光透镜(107)的右焦点与所述的可变光阑(109)位置重合;在所述的凹面反射镜保护罩(102)和消色差聚光透镜保护罩(108)上均设有通光孔(103);所述的凹面反射镜(101)、超高压短弧氙灯(104)、消色差聚光透镜(107)、可变光阑(109)和通光孔(103)共光轴;所述的氙灯冷却风扇(106)置于所述的超高压短弧氙灯(104)下方,通过外罩(110)上开的散热小孔(105)对超高压短弧氙灯(104)进行风冷;所述的汇聚透镜组件(3)包括大口径汇聚透镜(31)和内壁涂黑的大口径汇聚透镜保护罩(32),大口径汇聚透镜(31)置于两端板面开有通光孔(33)的大口径汇聚透镜保护罩(32)内;所述的滑轨平台(4)包括导轨(41)、设备平台(42)和放置架(43),所述的导轨(41)横向地置于所述的设备平台(42)上,所述的放置架(43)置于所述的导轨(41)上,所述的照明光学系统组件(1)放置在所述的放置架(43)上;所述的氙灯控制电源(2)包括电流显示表(21)、亮度调节旋钮(22)和开关(23)并置于所述的设备平台(42)上所述的照明光学系统组件(1)的一端,所述的氙灯控制电源(2)通过耐高压线(24)分别与所述的超高压短弧氙灯(104)和氙灯冷却风扇(106)相连;所述的样品平台(6)置于所述的设备平台(42)上所述的照明光学系统组件(1)的另一端,该样品平台(6)供待检测的大尺寸激光钕玻璃样品(5),简称为样品(5)放置,所述的白色投影屏(8)置于所述的样品平台(6)的外端的设备平台(42)上,所述的遮光罩(7)置于待检测的样品(5)的上下面,所述的汇聚透镜组件(3)置于所述的照明光学系统组件(1)和样品平台(6)之间的设备平台(42)上,所述的大口径汇聚透镜(31)的左焦点在所述的可变光阑(109)的位置处,所述的凹面反射镜(101)、超高压短弧氙灯(104)、消色差聚光透镜(107)、可变光阑(109)、通光孔(103)和大口径汇聚透镜(31)及其通光孔(33)共光轴。
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