[发明专利]探针结构、测试装置及测试方法有效
| 申请号： | 201810002109.7 | 申请日： | 2018-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN108181024B | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 付剑波;吴海龙;周焱;毛大龙;梁鹏;冉敏;许卓;但艺;朱海鹏 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01K11/32 | 分类号： | G01K11/32;G01K1/14 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 李莎;李弘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种探针结构，包括空心探针头和填充材料；所述填充材料设置在所述空心探针头的第一端内部，所述第一端用于接触待测物，所述填充材料的热膨胀系数、热光系数和弹光系数中的至少其一大于预设系数阈值；所述空心探针头的第二端用于连接光谱解调仪的传光光纤。本发明还公开了一种测试装置和测试方法。本发明提出的探针结构、测试装置及测试方法，可以较好地进行TFT测试。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 结构 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种探针结构，其特征在于，包括空心探针头和填充材料；所述填充材料设置在所述空心探针头的第一端内部，所述第一端用于接触待测物，所述填充材料的热膨胀系数、热光系数和弹光系数中的至少其一大于预设系数阈值；所述空心探针头的第二端用于连接光谱解调仪的传光光纤。
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