[发明专利]激光对位系统及激光对位方法有效
申请号: | 201780097401.5 | 申请日: | 2017-12-29 |
公开(公告)号: | CN111433558B | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 包春贵;胡康军 | 申请(专利权)人: | 深圳市柔宇科技股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/27 | 分类号: | G01B11/27;B32B38/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种激光对位系统(100),包括:激光发射装置(30),用于出射激光束;第一驱动装置(81),用于驱动第一基板(10),第一基板上设第一靶标(12);第二驱动装置(83),用于驱动第二基板(50),第二基板上对应第一靶标设第二靶标(52);激光接收装置(70),与激光发射装置分别位于第一基板与第二基板的两侧,用于接收激光发射装置发射的激光束;控制装置(85),用于控制激光发射装置、第一驱动装置、第二驱动装置及激光接收装置。还提供了一种激光对位系统的激光对位方法。 | ||
搜索关键词: | 激光 对位 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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