[发明专利]微粒检测元件及微粒检测器

摘要

微粒检测元件具备：壳体，该壳体具有供气体通过的气体流路；电荷产生部，该电荷产生部对导入至上述壳体内的气体中的微粒附加通过放电而产生的电荷，由此使该微粒形成为带电微粒；捕集电极，该捕集电极在上述壳体内设置为比电荷产生部靠气体的气流的下游侧，对带电微粒进行捕集。气体流路是从矩形的气体导入口连通至形状与气体导入口的形状相同的气体排出口的长方体形状的空间，当将微粒检测元件配置于气体的气流中并使得气体从气体流路通过时，在比气体排出口靠下游的区域产生低流速部，该低流速部使得气体的流速低于从气体流路的内部通过的气体的流速。