[发明专利]质谱仪检测器及使用其的系统和方法有效
| 申请号： | 201780093081.6 | 申请日： | 2017-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN110914952B | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 克里斯托弗·F·贝维斯;永曼·阿兰·柳;大卫·艾伦·里德;埃里·谢菲茨;阿米特·魏因加滕;亚历山大·卡德舍维特克 | 申请（专利权）人： | 诺威量测设备公司 |
| 主分类号： | H01J49/02 | 分类号： | H01J49/02;H01J49/40 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 梁小龙 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于二次离子质谱仪的离子检测器，该检测器具有：电子发射板，耦接至第一电势并被配置为根据离子的入射而发射电子；闪烁体，耦接至不同于上述第一电势的第二电势，该闪烁体具有后侧和面向电子发射板的前侧，该闪烁体被配置为在电子入射到前侧时从后侧发射光子；光导，耦接至闪烁体的后侧并限制从闪烁体的后侧发射的光子流；以及固态光电倍增器，耦接至光导且具有输出端，该输出端被配置为输出与来自光导的光子入射对应的电信号。SIMS系统包括可移动地布置在质量分析器的焦平面上的多个这种检测器。 | ||
| 搜索关键词： | 质谱仪 检测器 使用 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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