[发明专利]等离子体产生设备和气体处理设备有效
| 申请号： | 201780088854.1 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN110463357B | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 崔奫修;高燦奎;S.马尼 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹韩国有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;B01D53/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 邹松青;傅永霄 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开提供一种等离子体产生设备，其包括：阴极组件，其包括阴极；阳极组件，其包括阳极，该阳极组件具有在其中的等离子体产生空间；以及一个或多个磁力产生器，其被构造成产生磁力。阳极组件具有：一个端部部分，在该端部部分中设置气体供应路径；以及具有开口的另一个端部部分，气体供应路径被构造成将等离子体产生气体供应到等离子体产生空间。气体供应路径被构造成在等离子体产生空间中产生等离子体产生气体的涡流，并且所述一个或多个磁力产生器布置成使得在与等离子体产生气体的涡流的旋转方向相反的方向上产生磁力。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 产生 设备 气体 处理 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体产生设备，其包括：/n阴极组件，其包括阴极；/n阳极组件，其包括阳极，所述阳极组件具有在其中的等离子体产生空间；以及/n一个或多个磁力产生器，其被构造成产生磁力，/n其中，所述阳极组件具有：一个端部部分，在所述端部部分中设置气体供应路径；以及具有开口的另一个端部部分，所述气体供应路径被构造成将等离子体产生气体供应到所述等离子体产生空间，并且/n其中，所述气体供应路径被构造成在所述等离子体产生空间中产生所述等离子体产生气体的涡流，并且所述一个或多个磁力产生器布置成使得在与所述等离子体产生气体的所述涡流的旋转方向相反的方向上产生所述磁力。/n
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