[发明专利]感光性转印材料以及电路布线的制造方法在审
申请号: | 201780088772.7 | 申请日: | 2017-12-25 |
公开(公告)号: | CN110462515A | 公开(公告)日: | 2019-11-15 |
发明(设计)人: | 藤本进二;松田知树;山田悟 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039;C08F12/08;C08F20/16;G03F7/004;G03F7/20 |
代理公司: | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 曹阳<国际申请>=PCT/JP2017/ |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种感光性转印材料以及使用了感光性转印材料的电路布线的制造方法,所述感光性转印材料具有临时支撑体以及感光性树脂组合物层,所述感光性树脂组合物层含有包含聚合物的聚合物成分和光产酸剂,所述聚合物包含具有羧基以缩醛的形态被保护的基团的构成单元(a‑1)、或具有酚性羟基以缩醛的形态被保护的基团的构成单元(a‑2),聚合物成分包含具有酚性羟基的构成单元(b‑1)以及具有醇性羟基的构成单元(b‑2)中的至少一个,在聚合物成分的总构成单元中所占的构成单元(b‑1)的比例和构成单元(b‑2)的比例的总计为1摩尔%以上且18摩尔%以下。 | ||
搜索关键词: | 构成单元 聚合物 感光性转印材料 感光性树脂组合物层 酚性羟基 缩醛 临时支撑体 醇性羟基 电路布线 光产酸剂 羧基 总计 制造 | ||
【主权项】:
1.一种感光性转印材料,具有:/n临时支撑体;以及/n感光性树脂组合物层,含有包含聚合物的聚合物成分和光产酸剂,所述聚合物包含具有羧基以缩醛的形态被保护的基团的构成单元(a-1)或具有酚性羟基以缩醛的形态被保护的基团的构成单元(a-2),/n所述聚合物成分包含具有酚性羟基的构成单元(b-1)以及具有醇性羟基的构成单元(b-2)中的至少一个,/n在所述聚合物成分的总构成单元中所占的所述构成单元(b-1)的比例和所述构成单元(b-2)的比例的总计为1摩尔%以上且18摩尔%以下,/n其中,当所述聚合物成分不包含具有所述构成单元(a-1)的聚合物时,不将所述构成单元(b-1)的比例包含在所述总计之内。/n
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